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    管式質子交換爐

    質子爐主要用于光電器件中2~3英寸片的質子交換工藝。
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    產品描述

    本設備可應用于光通信領域的光學波導芯片制作中鈮酸鋰材料的離子交換,具有溫度控制精準、恒溫區場范圍大、可編程自動控制和超溫自動斷電保護等特點。
    溫控范圍:室溫-500℃
    溫度精度:±1℃
    恒溫區橫向長度:100cm-400cm
    恒溫區徑向長度:100cm-150cm
    爐管材料:高純石英

     

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    暫未實現,敬請期待
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